高精度程控勻膠機 型號:QAZ12-SYSC-100C

高精度程控勻膠機 型號:QAZ12-SYSC-100C

一. 產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 旋轉電機采用為勻膠機設計的高速伺服電機，具有高精度、高穩定性、高性。
2. 旋轉加速性能，大旋轉加速度*可達 40000rpm/s。
3. 真空系統采用雙重唇口式密封，緊密貼合包裹旋轉軸，吸片牢固，不掉片。
4. 兩項互鎖功能：
1) 勻膠腔體具有開(kāi)啟、關(guān)閉的檢測功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng)；
2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，則立即停止運行，確保吸片牢固。
5. 機身外殼采用 SUS304 不銹鋼制作，表面鍍鈦，防腐蝕、不生銹、易清潔。
6. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng) NPP 材料，經(jīng) CNC 一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進(jìn)入
真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。
7. 勻膠機涂膜腔體內有廢液排出孔。在涂膜過(guò)程中接儲脫離基片的廢液，并從排液孔排出。
8. 樣品臺采用德國勞士領(lǐng) NPP 材料，經(jīng) CNC 一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
9. 勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過(guò)程多可分十步進(jìn)行，每步的加速時(shí)間、旋轉速度、
勻膠時(shí)間均可控制、連續可調?？蓛Υ?30 組工藝程序，隨時(shí)調用。
10. 7英寸液晶觸摸屏使控制方便；運行狀態(tài)及各項參數實(shí)時(shí)顯示，直觀(guān)了解勻膠進(jìn)程；
11. 真空泵的開(kāi)啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制，無(wú)需手動(dòng)操作。
12. 旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時(shí)間"多為 99s，確?；喂涛接谛D臺后再進(jìn)行旋轉涂
膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時(shí)間"多為 99s，確保停止后再切斷真空，釋放
基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
13. 標配無(wú)油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺，防止飛片。

高精度程控勻膠機 型號:QAZ12-SYSC-100C

二. 技術(shù)參數
型號
參數 SYSC-100C
可鍍膜基片尺寸 圓形 ?5～100mm；方形 5×5～70×70mm
旋轉速度 0～10000rpm
轉速分辨率 1rpm
速度精度 ＜0.02%
旋涂加速度* 0～40000rpm/s
每步加速時(shí)間 0～999.9s
每步旋轉時(shí)間 0～9999.9s
旋轉時(shí)間分辨率 0.1s
預吸片時(shí)間 99s
解吸片時(shí)間 99s
腔體材料 勞士領(lǐng) NPP 材料
樣品臺材料 勞士領(lǐng) NPP 材料
真空系統密封方式 雙唇口密封裝置
驅動(dòng)電機類(lèi)型 工業(yè)級高速伺服電機
內置程序 50 組內置程序
旋轉控制方式 分步編程控制
保護 腔體開(kāi)關(guān)互鎖以及真空壓力檢測保護
膠液排出通道 腔體底部膠液排出孔
真空泵開(kāi)關(guān)方式 自動(dòng)程序控制
電機保護 “WALL"構造防膠液浸入電機